記者今天了解到，市場監(jiān)管總局針對我國微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）射頻參數(shù)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)缺失、信號完整性測試及可靠性研究能力不足的問題，近期組織國內(nèi)相關(guān)科研機(jī)構(gòu)，開展了MEMS關(guān)鍵射頻參數(shù)計(jì)量測試技術(shù)攻關(guān)，顯著提升了我國MEMS介電常數(shù)、脈沖波形、光子鏈路定位、電磁輻射等參數(shù)的計(jì)量測試能力，解決了MEMS關(guān)鍵射頻參數(shù)的計(jì)量測試與應(yīng)用問題。

該研究成功研制基材介電常數(shù)計(jì)量裝置、太赫茲波形計(jì)量裝置、光子鏈路定位參數(shù)計(jì)量裝置、微互連電磁泄漏總輻射功率測試裝置、微機(jī)電系統(tǒng)電接觸和互連電參數(shù)測試裝置等多項(xiàng)技術(shù)成果，部分指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。研究團(tuán)隊(duì)牽頭起草《皮秒級快沿/脈沖發(fā)生器校準(zhǔn)規(guī)范》等3項(xiàng)國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范，健全了我國在微機(jī)電系統(tǒng)測量及相關(guān)儀器儀表領(lǐng)域的質(zhì)量保證體系。

目前，相關(guān)研究成果已在5G高頻器件、光電集成器件及機(jī)載光網(wǎng)絡(luò)領(lǐng)域開展示范應(yīng)用，助力我國濾波器等5G高頻器件創(chuàng)新研發(fā)、保障故障診斷定位的準(zhǔn)確可靠，有力支撐了我國新一代信息技術(shù)、航空航天等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。